Российские учёные создали плазму для новых литографов

Российские учёные создали плазму для новых литографов

Российские физики получили плотную и горячую плазму, которая станет основой для источников экстремального ультрафиолетового излучения. Эти источники необходимы для создания новых литографов — устройств, используемых при производстве микросхем. Экстремальный ультрафиолет нужен для формирования на кремнии микрочипов с нанометровыми структурами. В современном производстве микроэлектроники широко применяется фотолитография, и уменьшение размеров чипов требует более продвинутых технологий. Новая плазма была создана с помощью установки в Институте ядерной физики СО РАН, где впервые получили непрерывный терагерцевый лазерный разряд. Учёные добились стабильности плазмы, ограничив её объём и используя импульсно-периодическое излучение для её поддержания. В ближайших планах — увеличить мощность плазмы в два-четыре раза за счёт усиления лазера на свободных электронах, расположенного в Новосибирске. Также предполагается использовать ксенон в качестве химического элемента для излучения. Технологию намерены внедрить в компактные установки, работающие на генераторах электромагнитных колебаний...
15:55, 20.06.2025
Сообщает источник: www.ferra.ru  
Рубрика: «Наука и Техника»   Поделитесь: Поделиться новостью в Facebook Поделиться новостью в Twittere Поделиться новостью в VK Поделиться новостью в Pinterest Поделиться новостью в Reddit

Российские ученые создали ИИ для поиска новых красителейРоссийские ученые создали ИИ для поиска новых красителей В пресс-службе Российского научного фонда (РНФ) сообщили, что ученые разработали ...

Российские ученые создали лёгкое-на-чипеРоссийские ученые создали «лёгкое-на-чипе» Ученые из НИИ пульмонологии ФМБА России разработали миниатюрную модель человечес ...

Российские учёные создали ИИ для анализа клетокРоссийские учёные создали ИИ для анализа клеток Учёные из Университета ИТМО в Санкт-Петербурге разработали программу, которая по ...

Российские ученые создали новый неопиоидный анальгетикРоссийские ученые создали новый неопиоидный анальгетик В пресс-службе Саратовского государственного медицинского университета (СГМУ) им ...

Российские ученые создали эндопротез для спасения конечностейРоссийские ученые создали эндопротез для спасения конечностей В России появилась новая инженерно-тканная разработка, позволяющая избежать ампу ...

Российские учёные создали бублик для электроники будущегоРоссийские учёные создали «бублик» для электроники будущего Учёные из Новгородского государственного университета (НовГУ) усовершенствовали ...

Российские ученые создали имплант для лечения остеопорозаРоссийские ученые создали имплант для лечения остеопороза Ученые из Томского государственного университета (ТГУ) совместно с коллегами из ...

Российские учёные создали невидимый сверхпроводящий диодРоссийские учёные создали «невидимый» сверхпроводящий диод Физики из МФТИ и Института теоретической физики им. Л.Д. Ландау РАН разработали ...

Российские ученые создали водостойкое покрытие для судовРоссийские ученые создали водостойкое покрытие для судов Специалисты из Санкт-Петербургского государственного электротехнического универс ...

Российские ученые создали жаропрочную сталь для энергетикиРоссийские ученые создали жаропрочную сталь для энергетики В пресс-службе Минобрнауки РФ сообщили, что ученые Белгородского государственног ...

Российские ученые создали самовосстанавливающееся покрытие для реакторовРоссийские ученые создали самовосстанавливающееся покрытие для реакторов В Минобрнауки РФ сообщили, что ученые Томского политехнического университета (ТП ...

Российские ученые создали симулятор для тестирования автопилотовРоссийские ученые создали симулятор для тестирования автопилотов В пресс-службе Института искусственного интеллекта AIRI сообщили, что ученые раз ...

Российские ученые создали ткань, вырабатывающую электричествоРоссийские ученые создали ткань, вырабатывающую электричество В пресс-службе Санкт-Петербургского государственного университета промышленных т ...

Российские ученые создали биосенсор для диагностики астмыРоссийские ученые создали биосенсор для диагностики астмы Российские ученые разработали прототип биосенсора, способного выявлять астму и с ...

Российские ученые создали способ быстрого выращивания картофеляРоссийские ученые создали способ быстрого выращивания картофеля Ученые из Петербурга представили технологию, которая позволяет быстро размножать ...

Российские ученые создали полимер для долговечных медицинских имплантатовРоссийские ученые создали полимер для долговечных медицинских имплантатов Ученые из Сеченовского университета разработали новый полимерный материал с улуч ...

Российские ученые создали сверхтонкий и яркий элемент для дисплеевРоссийские ученые создали сверхтонкий и яркий элемент для дисплеев Группа ученых из России и Южной Кореи разработала новый тип светоизлучающего эле ...

Российские ученые создали мобильного робота для проверки электростанцийРоссийские ученые создали мобильного робота для проверки электростанций В отделе научных коммуникаций Уральского федерального университета (УрФУ) сообщи ...

Российские учёные создали робота-пациента для обучения врачейРоссийские учёные создали робота-пациента для обучения врачей Учёные Пермского Политеха совместно с экспертами Федерального центра сердечно-со ...

Российские ученые создали алгоритм для поиска лекарств от АльцгеймераРоссийские ученые создали алгоритм для поиска лекарств от Альцгеймера В пресс-службе Российского научного фонда (РНФ) сообщили, что ученые разработали ...

VSMI.DAY Поиск в новостях